公司喜獲2023年度遼寧省科學技術(shù)進步一等獎
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- 發(fā)布時間：2025-02-20 09:07
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日前，公司“面向集成電路制造領(lǐng)域的無油干式真空泵研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目喜獲2023年度遼寧省科學技術(shù)進步一等獎。這是公司干式真空泵產(chǎn)品首次牽頭獲得遼寧省科學技術(shù)進步獎，是對干式真空泵產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新性、社會經(jīng)濟效益極大的肯定。據(jù)悉，2023年度遼寧省科學技術(shù)獎勵共申報838項項目，最終僅60個項目獲授一等獎。
在國家、省、市、區(qū)的支持下，公司20年磨一劍，解決了國產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)創(chuàng)新瓶頸問題。目前干式真空泵產(chǎn)品已在中芯國際、長江存儲、長鑫存儲、Intel、北方華創(chuàng)等國內(nèi)外主要芯片制造廠和設(shè)備廠批量應(yīng)用，有效滿足14nm先進邏輯芯片工藝以及128層及以上3D NAND等先進存儲芯片工藝的生產(chǎn)需求，打破國外技術(shù)壟斷，填補國內(nèi)空白，是目前唯一在集成電路先進制程大批量應(yīng)用的國產(chǎn)干泵，不但實現(xiàn)了適用于集成電路領(lǐng)域的國產(chǎn)干式真空泵從無到有、從有到優(yōu)發(fā)展，更從根本上解決了被“卡脖子”的潛在風險，對我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展起到了不可或缺的支撐作用，為遼寧省創(chuàng)建具有全國影響力的區(qū)域科技創(chuàng)新中心、譜寫中國式現(xiàn)代化遼寧篇章注入強勁科技動力，為實現(xiàn)高水平科技自立自強和公司高質(zhì)量發(fā)展再立新功。
遼寧省人民政府發(fā)文鏈接：https://www.ln.gov.cn/web/zwgkx/zfwj/szfwj/2025n/2025021714455625916/index.shtml
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