公司喜獲2023年度遼寧省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)
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- 發(fā)布時(shí)間：2025-02-20 09:07
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日前，公司“面向集成電路制造領(lǐng)域的無(wú)油干式真空泵研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目喜獲2023年度遼寧省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)。這是公司干式真空泵產(chǎn)品首次牽頭獲得遼寧省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)，是對(duì)干式真空泵產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新性、社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益極大的肯定。據(jù)悉，2023年度遼寧省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)共申報(bào)838項(xiàng)項(xiàng)目，最終僅60個(gè)項(xiàng)目獲授一等獎(jiǎng)。
在國(guó)家、省、市、區(qū)的支持下，公司20年磨一劍，解決了國(guó)產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)創(chuàng)新瓶頸問(wèn)題。目前干式真空泵產(chǎn)品已在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、Intel、北方華創(chuàng)等國(guó)內(nèi)外主要芯片制造廠(chǎng)和設(shè)備廠(chǎng)批量應(yīng)用，有效滿(mǎn)足14nm先進(jìn)邏輯芯片工藝以及128層及以上3D NAND等先進(jìn)存儲(chǔ)芯片工藝的生產(chǎn)需求，打破國(guó)外技術(shù)壟斷，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，是目前唯一在集成電路先進(jìn)制程大批量應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)干泵，不但實(shí)現(xiàn)了適用于集成電路領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)干式真空泵從無(wú)到有、從有到優(yōu)發(fā)展，更從根本上解決了被“卡脖子”的潛在風(fēng)險(xiǎn)，對(duì)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展起到了不可或缺的支撐作用，為遼寧省創(chuàng)建具有全國(guó)影響力的區(qū)域科技創(chuàng)新中心、譜寫(xiě)中國(guó)式現(xiàn)代化遼寧篇章注入強(qiáng)勁科技動(dòng)力，為實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)和公司高質(zhì)量發(fā)展再立新功。
遼寧省人民政府發(fā)文鏈接：https://www.ln.gov.cn/web/zwgkx/zfwj/szfwj/2025n/2025021714455625916/index.shtml
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